हे इन्स्ट्रुमेंट संपर्क नसलेल्या, ऑप्टिकल फेज-शिफ्टिंग इंटरफेरोमेट्रिक मापन पद्धतीचा अवलंब करते, मापन दरम्यान वर्कपीसच्या पृष्ठभागाला नुकसान पोहोचवत नाही, विविध वर्कपीसच्या पृष्ठभागाच्या सूक्ष्म स्थलाकृतिचे त्रिमितीय ग्राफिक्स द्रुतपणे मोजू शकते आणि मापनाचे विश्लेषण आणि गणना करू शकते. परिणाम
उत्पादन वर्णन
वैशिष्ट्ये: विविध गेज ब्लॉक्स आणि ऑप्टिकल भागांच्या पृष्ठभागाची उग्रता मोजण्यासाठी योग्य; शासक आणि डायलच्या जाळीची खोली; जाळीच्या खोबणीच्या संरचनेच्या कोटिंगची जाडी आणि कोटिंगच्या सीमारेषेची रचना आकारविज्ञान; चुंबकीय (ऑप्टिकल) डिस्कची पृष्ठभाग आणि चुंबकीय डोके संरचना मोजमाप; सिलिकॉन वेफर पृष्ठभाग खडबडीतपणा आणि नमुना रचना मापन, इ.
इन्स्ट्रुमेंटच्या उच्च मापन अचूकतेमुळे, त्यात गैर-संपर्क आणि त्रि-आयामी मापनाची वैशिष्ट्ये आहेत आणि संगणक नियंत्रण आणि मापन परिणामांचे जलद विश्लेषण आणि गणना स्वीकारते. हे साधन सर्व स्तरावरील चाचणी आणि मापन संशोधन युनिट्स, औद्योगिक आणि खाण उपक्रम मापन कक्ष, अचूक प्रक्रिया कार्यशाळा आणि उच्च शिक्षण संस्था आणि वैज्ञानिक संशोधन संस्था इत्यादींसाठी योग्य आहे.
मुख्य तांत्रिक मापदंड
पृष्ठभागाच्या सूक्ष्म असमानता खोलीची श्रेणी मोजणे
सतत पृष्ठभागावर, जेव्हा दोन लगतच्या पिक्सेलमध्ये 1/4 तरंगलांबीपेक्षा जास्त उंचीचा अचानक बदल होत नाही: 1000-1nm
जेव्हा दोन समीप पिक्सेलमध्ये तरंगलांबीच्या 1/4 पेक्षा जास्त उंचीचे उत्परिवर्तन होते: 130-1nm
मापनाची पुनरावृत्ती: δRa ≤0.5nm
वस्तुनिष्ठ लेन्स मॅग्निफिकेशन: 40X
संख्यात्मक छिद्र: Φ 65
कार्यरत अंतर: 0.5 मिमी
इन्स्ट्रुमेंट फील्ड ऑफ व्हिज्युअल: Φ0.25 मिमी
छायाचित्र: 0.13×0.13mm
इन्स्ट्रुमेंट मॅग्निफिकेशन व्हिज्युअल: 500×
छायाचित्र (संगणक स्क्रीनद्वारे निरीक्षण) -2500×
रिसीव्हर मापन ॲरे: 1000X1000
पिक्सेल आकार: 5.2×5.2µm
मापन वेळ सॅम्पलिंग (स्कॅनिंग) वेळ: 1S
इन्स्ट्रुमेंट स्टँडर्ड मिरर रिफ्लेक्टिव्हिटी (उच्च): ~50%
परावर्तन (कमी): ~4%
प्रकाश स्रोत: इनॅन्डेन्सेंट दिवा 6V 5W
हिरवा हस्तक्षेप फिल्टर तरंगलांबी: λ≒530nm
अर्धी रुंदी λ≒10nm
मुख्य सूक्ष्मदर्शक लिफ्ट: 110 मिमी
टेबल लिफ्ट: 5 मिमी
X आणि Y दिशेने हालचालींची श्रेणी: 10 मिमी
वर्कटेबलची फिरती श्रेणी: 360°
कार्यरत टेबलची टिल्ट श्रेणी: ±6°
संगणक प्रणाली: P4, 2.8G किंवा अधिक, 1G किंवा अधिक मेमरीसह 17-इंच फ्लॅट-स्क्रीन डिस्प्ले